Cad iad na príomhtheicnící chun feidhmíocht optúil na sliseanna a thomhas?

1. Teicneolaíocht Tomhais Speictriméadair

Is ionstraim bheachtais é speictriméadar a fhéadann airíonna speictrim substainte a thomhas. I dtomhas feidhmíochta optúil na sliseanna, is féidir an speictriméadar a úsáid chun speictream machnaimh optúil agus speictream tarchuir an dromchla sliseanna nó an taobh istigh a thomhas, chun tréithe optúla na sliseanna a fháil. Tá na buntáistí ag an speictriméadar a bhaineann le cruinneas ard agus freagairt thapa, agus tá sé ar cheann de na huirlisí tábhachtacha chun airíonna optúla na sliseanna a thomhas.

2. Teicneolaíocht Tomhais Ellipsometer

Is cineál ionstraime beachta é Ellipsometer a úsáidtear chun airíonna optúla tiús tanaí scannán agus innéacs athraonta a thomhas ar dhromchla na n -ábhar. Tá scannán tanaí ar cheann de na struchtúir choiteanna sa phróiseas monaraithe sliseanna. Is féidir leis an ellipsometer an tiús agus an t -innéacs athraonta den scannán tanaí a thomhas go cruinn ar dhromchla na sliseanna, a sholáthraíonn bunús tábhachtach do dhearadh optúil na sliseanna. Tá torthaí tomhais an ellipsometer cruinn agus iontaofa, agus úsáidtear iad go forleathan i dtréithriú agus anailís airíonna optúla sliseanna.